为什么要使用两种成膜材料

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ˋ▂ˊ 中巨芯:公司产品可用于高带宽内存芯片生产制造的清洗、刻蚀、成膜...金融界5月20日消息,有投资者在互动平台向中巨芯提问:公司的的材料可以运用于高带宽内存芯片吗?公司回答表示:公司产品广泛应用于集成电路等领域的清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节。HBM(High Bandwidth Memory,高带宽内存)是一种高性能的存储芯片,其采用了3D堆叠技术,将多...

华为公司申请涂层材料和集成电路及制备方法、电子设备专利,该专利...涂层材料包括:聚羟基苯乙烯衍生物。聚羟基苯乙烯衍生物至少包括聚羟基苯乙烯和吸光基团,吸光基团用于光的吸收。聚羟基苯乙烯的苯环上的至少一个氢原子被吸光基团取代。与小分子玻璃体系相较,聚羟基苯乙烯衍生物具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能,因此,可以保证包含该聚羟...

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...专利,该专利技术能保证涂层材料具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能聚羟基苯乙烯衍生物具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能,因此,可以保证包含该聚羟基苯乙烯衍生物的涂层材料具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能。进一步的,化合物的吸光性能,由聚羟基苯乙烯衍生物中的吸光基团所决定,可以通过调节引入的吸光集团来调节涂层材料n、k值,进而可以...